ТехноNews: Компания из Новосибирска «Оптические технологии» разработала новый ультрафиолетовый лазер для литографии
В новосибирской компании «Оптические технологии» создали лазер для печати микросхем. Лазер работает с помощью ультрафиолетового излучения. По словам создателей, разработка не имеет аналогов в России. «Оптические технологии» рассказали, что новый лазер заменит американские устройства Coherent, работающие на длине волны 257 нанометров. Всё оборудование и фоторезисторы подстроены под это значение.
Как объяснили разработчики, при производстве микросхем нужен фотошаблон. Это тонкая плёнка с рисунком схемы. Её накладывают на кремниевую пластину. Сейчас больше 75% таких шаблонов делают с помощью лазерной литографии. Этот метод наносит изображение на материал с помощью сфокусированного лазера.
